[發明專利]異質結碳納米管場效應晶體管及其制備方法有效
| 申請號： | 201610806633.0 | 申請日： | 2016-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN106356405B | 公開（公告）日： | 2020-10-09 |
| 發明（設計）人： | 邱晨光;徐琳;張志勇;彭練矛 | 申請（專利權）人： | 北京華碳元芯電子科技有限責任公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京庚致知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李偉波 |
| 地址： | 100086 北京市海淀區中*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 異質結碳 納米 場效應 晶體管 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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