[發明專利]一種雙輝滲金屬源極輔助陰極筒有效
| 申請號: | 201610805999.6 | 申請日: | 2016-09-06 |
| 公開(公告)號: | CN106244992B | 公開(公告)日: | 2019-06-18 |
| 發明(設計)人: | 徐晉勇;王健;高波;羅奕;張應紅;孫寧;高鵬;唐亮;王巖 | 申請(專利權)人: | 桂林電子科技大學 |
| 主分類號: | C23C14/48 | 分類號: | C23C14/48 |
| 代理公司: | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人: | 但玉梅 |
| 地址: | 541004 廣西*** | 國省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙輝滲 金屬 輔助 陰極 | ||
【權利要求書】:
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