[發明專利]混合酸性溶液的濃度測定方法

在審

• 申請號: 201610804976.3
• 申請日: 2016-09-06
• 公開（公告）號: CN107796912A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 汪紅麗;劉彥云
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
• 主分類號: G01N31/16
• 分類號: G01N31/16
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 徐文欣,吳敏

1.一種混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，包括：

提供測試混酸，所述測試混酸為氫氟酸和硝酸的混合溶液；

采用非質子極性有機溶劑稀釋所述測試混酸，形成滴定混酸；

采用滴定劑對所述滴定混酸進行滴定，得到氫氟酸的滴定終點和硝酸的滴定終點；

根據氫氟酸的滴定終點和硝酸的滴定終點獲得測試混酸中氫氟酸的濃度和硝酸的濃度。

2.根據權利要求1所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，所述非質子極性有機溶劑為酒精、異丙醇、丙酮、四氫呋喃、甲乙酮或二甲基吡咯烷酮。

3.根據權利要求1所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，所述滴定劑為堿性溶液。

4.根據權利要求3所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，所述堿性溶液為氫氧化鈉溶液或氫氧化鉀溶液。

5.根據權利要求4所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，所述滴定劑中溶質的濃度為0.1mol/L～2.0mol/L。

6.根據權利要求1所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，所述非質子極性有機溶劑的體積與所述測試混酸的體積的比值為20～200。

7.根據權利要求1所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，采用滴定劑對所述滴定混酸進行電位滴定，得到氫氟酸的滴定終點和硝酸的滴定終點。

8.根據權利要求7所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，得到氫氟酸的滴定終點和硝酸的滴定終點的方法包括：

獲得滴定混酸的電位值隨著滴定劑的滴定體積的變化的電位函數關系；

使所述電位函數關系對所述滴定體積一階求導，得到一階導電位函數關系；

確定所述一階導電位函數關系中的第一極小值點和第二極小值點，所述第一極小值點對應的滴定體積為第一體積，所述第二極小值點對應的滴定體積為第二體積，第一體積小于第二體積；

將所述第一極小值點確定為硝酸的滴定終點，將所述第二極小值點確定為氫氟酸的滴定終點。

9.根據權利要求8所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，獲得滴定混酸的電位值隨著滴定劑的滴定體積的變化的電位函數關系的方法包括：以滴定劑的滴定體積為橫坐標、滴定混酸的電位值為縱坐標，繪制電位滴定曲線；

得到所述一階導電位函數關系的方法包括：以滴定劑的滴定體積為橫坐標、滴定混酸的電位值對滴定體積的一階導為縱坐標，繪制一階導電位滴定曲線。

10.根據權利要求8所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，根據氫氟酸的滴定終點和硝酸的滴定終點獲得測試混酸中氫氟酸的濃度和硝酸的濃度的方法為：

根據所述第一體積和滴定劑的濃度獲得滴定硝酸消耗的滴定劑的質量；根據滴定硝酸消耗的滴定劑的質量獲得滴定混酸中硝酸的質量；根據滴定混酸中硝酸的質量和測試混酸的質量獲得測試混酸中硝酸的濃度；

根據所述第二體積與所述第一體積的差值、以及滴定劑的濃度獲得滴定氫氟酸消耗的滴定劑的質量；根據滴定氫氟酸消耗的滴定劑的質量獲得滴定混酸中氫氟酸的質量；根據滴定混酸中氫氟酸的質量和測試混酸的質量獲得測試混酸中氫氟酸的濃度。

11.根據權利要求1所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，對所述滴定混酸進行滴定并獲得測試混酸中氫氟酸的濃度和硝酸的濃度后，還包括：重復進行N次對滴定混酸進行滴定至獲得測試混酸中氫氟酸的濃度和硝酸的濃度的步驟，N為大于或等于1的整數；獲得N+1次對滴定混酸進行滴定對應的氫氟酸濃度的平均值和硝酸濃度的平均值。

12.根據權利要求11所述的混合酸性溶液的濃度測定方法，其特征在于，N為2～4。