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[發明專利]一種極高真空電離規的制備方法有效

專利信息
申請號: 201610784734.2 申請日: 2016-08-31
公開(公告)號: CN106372313B 公開(公告)日: 2019-08-23
發明(設計)人: 肖玉華;李得天;張虎忠;成永軍;王永軍;李丹明 申請(專利權)人: 蘭州空間技術物理研究所
主分類號: G06F17/50 分類號: G06F17/50;H01J41/02;G01L21/30
代理公司: 北京理工大學專利中心 11120 代理人: 楊志兵;李愛英
地址: 730000 甘*** 國省代碼: 甘肅;62
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 極高 真空 電離 制備 方法
【說明書】:
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