[發(fā)明專利]用于石英晶圓接合的系統(tǒng)和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610776975.2 | 申請日： | 2016-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN106487347B | 公開（公告）日： | 2020-08-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | C.J.卡普斯塔;M.F.艾米 | 申請（專利權）人： | 通用電氣公司 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 鄭浩;姜甜 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 石英 接合 系統(tǒng) 方法 | ||
【說明書】：
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