[發(fā)明專利]顯微放大系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610757811.5 | 申請(qǐng)日: | 2016-08-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN107783267A | 公開(公告)日: | 2018-03-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 袁蘭 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京大學(xué);陳志民 |
| 主分類號(hào): | G02B21/00 | 分類號(hào): | G02B21/00;G02B21/06;G02B21/10;G02B21/12 |
| 代理公司: | 北京漢德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11328 | 代理人: | 陳曦,錢鶯勤 |
| 地址: | 100191 北京市海淀區(qū)*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 顯微 放大 系統(tǒng) | ||
1.顯微放大系統(tǒng),包括一個(gè)透射光顯微鏡裝置(10)和一個(gè)熒光照明裝置(30),其中:
所述透射光顯微鏡裝置(10)包括:
一個(gè)照明光源(11),其光源波長在190nm至2000nm之間,
一個(gè)第一聚光鏡(12),其沿一個(gè)第一光軸(X)位于所述照明光源(11)的下游,
一個(gè)錐角反射器(13),其沿所述第一光軸(X)位于所述第一聚光鏡(12)的下游、且能夠從所述第一光軸(X)中移開,該錐角反射器(13)的表面具有鏡面反射的光學(xué)特性,
一個(gè)暗場(chǎng)照明器(14),其環(huán)罩所述錐角反射器(13)且表面具有鏡面反射的光學(xué)特性,該暗場(chǎng)照明器(14)將經(jīng)所述錐角反射器(13)的光線斜向反射到一個(gè)第二聚光鏡(15),并通過該第二聚光鏡(15)匯聚到一個(gè)樣品池(16)樣品區(qū)域,其中:
所述第二聚光鏡(15),其沿所述第一光軸(X)位于所述暗場(chǎng)照明器(14)中心位置的暗場(chǎng),若所述錐角反射器(13)移開所述第一光軸(X),透過所述第一聚光鏡(12)的光線通過所述第二聚光鏡(15),將光線匯聚到所述樣品區(qū)域,能夠?qū)崿F(xiàn)一個(gè)明場(chǎng)照明,
所述樣品池(16),其沿所述第一光軸(X)位于所述第二聚光鏡(15)的下游,且所述樣品區(qū)域位于該樣品池,
一個(gè)物鏡(17),其沿所述第一光軸(X)位于所述樣品池(16)的下游,該物鏡(17)的物方視野直徑介于10mm至200mm之間、數(shù)值孔徑大于0.3、分辨率不大于1μm ,
一個(gè)輔助物鏡(18),其沿所述第一光軸(X)位于所述物鏡(17)的下游,該輔助物鏡(18)的孔徑大于10mm,以保證與所述物鏡(17)成像面積的匹配,
一個(gè)分光鏡(23),其沿所述第一光軸(X)位于所述輔助物鏡(18)的下游,且沿所述第一光軸(X)的部分光線能夠沿一個(gè)不同于所述第一光軸(X)方向的一個(gè)第二光軸(Y)通過該分光鏡(23),
一個(gè)阻擋濾光片(24),其沿所述第一光軸(X)位于所述分光鏡(23)的下游,
一個(gè)管鏡(25),其沿所述第一光軸(X)位于所述阻擋濾光片(24)的下游, 和
一個(gè)圖像采集器(26),其沿所述第一光軸(X)位于所述管鏡(25)的下游;
所述熒光照明裝置(30)包括:
一個(gè)熒光光源(31),其發(fā)射的熒光光束能夠沿所述第二光軸(Y)照射至所述分光鏡(23),并藉由該分光鏡(23)反射至所述輔助物鏡(18),進(jìn)而照射所述樣品區(qū)域,
一個(gè)第三聚光鏡(32),其沿所述第二光軸(Y)位于所述熒光光源(31)和所述分光鏡(23)之間,
一個(gè)第四聚光鏡(33),其沿所述第二光軸(Y)位于所述第三聚光鏡(32)和所述分光鏡(23)之間,和
一個(gè)取景標(biāo)記器(34),其沿所述第二光軸(Y)位于所述分光鏡(23)未設(shè)置所述熒光光源(31)的一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微放大系統(tǒng),其中位于圖像采集器(26)處的像方視場(chǎng)為特大靶面的數(shù)字圖像傳感器,有效信息量在107至1010像素之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微放大系統(tǒng),其中所述照明光源(11)發(fā)出的光經(jīng)由所述第一聚光鏡(12)、所述錐角反射器(13)、所述暗場(chǎng)照明器(14)、和所述第二聚光鏡(15),在所述樣品區(qū)域形成直徑在10mm至200mm之間的照明區(qū)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微放大系統(tǒng),其中所述第二聚光鏡(15)的直徑能夠使其視野直徑在10mm至200mm之間,且覆蓋整個(gè)所述樣品池(16)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微放大系統(tǒng),其中所述物鏡(17)的直徑能夠使物方視野直徑在10mm至200mm之間,數(shù)值孔徑大于0.3、分辨率不大于1μm,且能夠全部接收經(jīng)所述樣品池(16)通過的光。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微放大系統(tǒng),其中所述第四聚光鏡(33)包括沿所述第二光軸(Y)設(shè)置的:
一組光學(xué)阻擋片(332),和
一組間設(shè)于所述光學(xué)阻擋片(332)之間的光欄(334)。
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