[發明專利]一種雙面異型光刻ITO通道制作工藝方法在審
| 申請號： | 201610750397.5 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN107783376A | 公開（公告）日： | 2018-03-09 |
| 發明（設計）人： | 曹警聲 | 申請（專利權）人： | 連城縣中觸電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G06F3/041 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 364000 福建省龍巖*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 雙面 異型 光刻 ito 通道 制作 工藝 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種雙面異型光刻ITO通道制作工藝方法，其特征是：該工藝方法包括如下步驟：
（1）根據整機產品性能需求及控制芯片IC定義設計好ITO patten；
（2）使用激光光刻技術在已經鍍好氧化銦錫的玻璃上雕刻出已經設計好的ITO patten圖案；
（3） 去除ITO無用的部分，保留有用的ITO patten圖案用作觸摸屏sensor導通線路；
（4）在ITO patten邊緣銀漿時刻掉氧化銦錫的空白位置加印銀漿AG塊；銀漿PIN與ITO patten 搭接PIN緊密接觸，以保證良好的導通性；
（5）使用激光光刻技術將銀漿塊雕刻成相應IC通道數的單條線路 ，并在集中位置均勻布局引出線，用作與柔性線路板FPC綁定連接用；
（6）將柔性線路板FPC與ITO sensor 銀漿引出線通過ACF綁定導通，實現ITO玻璃的觸摸功能。
2.根據權利要求1所述的雙面異型光刻ITO通道制作工藝方法，其特征是：該工藝方法制作的sensor線寬線距可達到0.03-0.045mm。
3.根據權利要求1所述的雙面異型光刻ITO通道制作工藝方法，其特征是：該工藝方法制作的sensor功能一致性最大單位變量值≤1000。
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