[發(fā)明專利]一種光刻機智能控制系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610714050.5 | 申請日： | 2016-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN107783375A | 公開（公告）日： | 2018-03-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 郭琳 | 申請（專利權）人： | 郭琳 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110179 遼寧省沈陽市渾*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光刻 機智 控制系統(tǒng) | ||
1.一種光刻機智能控制系統(tǒng)，由平板工控機(主控板卡)、數(shù)據(jù)采集卡和運動控制板卡三個部分組成。
2.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的硬件設計采用平板工控機(主控板卡)、數(shù)據(jù)采集卡和運動控制板卡分離設計的方法。
3.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的板卡間的通訊如下：平板工控機與數(shù)據(jù)采集卡的通訊通過USB實現(xiàn)；平板工控機與數(shù)據(jù)采集卡的通訊通過串口實現(xiàn)。
4.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的平板工控機(主控板卡)的主控芯片采用三星的S3C2440芯片作為微處理器。
5.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的系統(tǒng)為主控芯片配置了64M的SDRAM，配置256M的NandFlash來滿足對小文件的存儲，對大文件存儲則需使用SD卡實現(xiàn)。
6.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的系統(tǒng)配置8in(1 in=2.54 cm)的觸摸屏來滿足顯示與操作的需要，觸摸屏的分辨力為800×600，采用40針FFC軟排線與主控制板卡進行連接。
7.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的系統(tǒng)專門采用具有一線式精準觸控功能的四線電阻屏。
8.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的系統(tǒng)外設接口主要包括串口、USB接口、網(wǎng)絡模塊和音頻模塊。
9.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的運動控制卡采用AT89C52作為處理器，內(nèi)置電磁閥和步進電機的驅動程序。
10.根據(jù)權利要求1所述的光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的運動控制卡中的電磁閥控制模塊使用光電耦合器耦合信號，然后通過三極管進行放大，最終驅動電磁閥。
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