[發明專利]一種感光樹脂組合物

有效

• 申請號: 201610712999.1
• 申請日: 2016-08-23
• 公開（公告）號: CN106324992B
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 李偉杰;嚴曉慧;周光大
• 申請（專利權）人: 杭州福斯特應用材料股份有限公司
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 邱啟旺

1.一種感光樹脂組合物，其特征在于，它包括堿可溶性聚合物、具有乙烯基不飽和基團的可光聚合化合物和光引發劑；其中，所述堿可溶性聚合物的質量含量為40-70％，所述具有乙烯基不飽和基團的可光聚合化合物的質量含量為20-50％，所述光引發劑的質量含量為0.5-20％；所述具有乙烯基不飽和基團的可光聚合化合物包含新戊二醇單元的環三羥甲基丙烷縮甲醛(甲基)丙烯酸酯：

其中，n為0-5之間的正整數，R為H或CH₃；

所述新戊二醇單元的環三羥甲基丙烷縮甲醛(甲基)丙烯酸酯的質量為感光樹脂組合物總質量的5-15％。

2.根據權利要求1所述感光樹脂組合物，其特征在于，所述的堿可溶性聚合物是(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸酯的共聚物；其中，(甲基)丙烯酸包括丙烯酸和甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯選自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸羥乙酯、丙烯酸羥丙酯、甲基丙烯酸羥丙酯，丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸異辛酯、甲基丙烯酸異冰片酯。

3.根據權利要求2所述感光樹脂組合物，其特征在于，所述堿可溶性聚合物酸值為140-163mg KOH/g，數均分子量為50000-150000g/mol，玻璃化轉變溫度為90-140℃。

4.根據權利要求1所述的感光樹脂組合物，其特征在于，n優選為2-4之間的正整數；所述新戊二醇單元的環三羥甲基丙烷縮甲醛(甲基)丙烯酸酯的質量優選為為感光樹脂組合物總質量的7-11％。

5.根據權利要求1所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述具有乙烯基不飽和基團的可光聚合化合物還包含單官能團化合物、雙官能團化合物和多官能團化合物中的一種或多種，其中，單官能團化合物包括丙烯酸月桂酯、丙烯酸異癸酯、丙烯酸四氫呋喃甲酯、丙烯酸二噁茂酯；雙官能團化合物為聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二丙烯酸酸脂、1，6-己二醇二丙烯酸酯；多官能團化合物包括三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羥基甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、含氨基甲酸的多官能團(甲基)丙烯酸酯。

6.根據權利要求1所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述光引發劑包含苯甲雙(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦：

所述苯甲雙(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦的質量為感光樹脂組合物總質量的0.5-2％。

7.根據權利要求6所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述光引發劑還包括光聚合引發劑，所述光聚合引發劑選自苯偶姻雙甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻苯基醚、噻噸酮、2-氯噻噸酮、4-氯噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、二苯甲酮、4，4’-雙(二甲氨基)二苯甲酮(米氏酮)、4，4’-雙(二乙氨基)二苯甲酮、異丙基硫雜蒽酮、2-氯硫雜蒽酮、2，4-二乙基硫雜蒽酮、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、N，N-二甲基苯甲酸乙酯、苯甲酸二甲氨基乙酯、N，N-二甲基乙醇胺、2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-雙(2-溴-5-甲氧基苯)-4，4’，5，5’-四苯基二咪唑、2，2’-雙(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基二咪唑。

8.根據權利要求7所述的感光樹脂組合物，其特征在于，所述光聚合引發劑優選由苯甲雙(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦和四乙基米氏酮的按重量比3:2組成的混合物。