[發明專利]一種檢測平行度的裝置及應用該裝置的檢測方法

在審

• 申請號: 201610692904.4
• 申請日: 2016-08-19
• 公開（公告）號: CN107764180A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 羊凱;袁績;沈海濤;常遠
• 申請（專利權）人: 維嘉數控科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01B7/312
• 分類號: G01B7/312
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

1.一種檢測平行度的裝置，其特征在于，包括：

工作臺；

位置傳感器，其設置在所述工作臺的臺面上；

壓力腳，其設置在所述工作臺上方，并由吸屑罩支撐；

二維運動模塊，用于在水平方向調整壓力腳與位置傳感器之間的相對位置；

驅動裝置，用于在豎直方向驅動所述壓力腳靠近或遠離所述位置傳感器；

位置測量裝置，用于測量和反饋壓力腳的實際位置；

所述位置傳感器、驅動裝置和位置測量裝置均與控制系統電連接。

2.根據權利要求1所述的檢測平行度的裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括：

主軸及固定所述主軸的主軸夾；

氣缸，其設置在所述主軸夾上，該氣缸的活塞桿自由端與所述吸屑罩相連。

3.根據權利要求2所述的檢測平行度的裝置，其特征在于，所述主軸夾的兩側面上對稱設置有兩個氣缸，所述兩個氣缸的活塞桿自由端均與所述吸屑罩相連。

4.根據權利要求1所述的檢測平行度的裝置，其特征在于，所述二維運動模塊包括：

Y軸導軌，其水平設置，所述工作臺可滑動的設置在所述Y軸導軌上；

X軸導軌，其位于所述Y軸導軌上方，且垂直于所述Y軸導軌布置，所述驅動裝置可滑動的設置在所述X軸導軌上。

5.根據權利要求1所述的檢測平行度的裝置，其特征在于，所述位置傳感器為磁性傳感器。

6.根據權利要求1所述的檢測平行度的裝置，其特征在于，所述位置測量裝置為光柵尺和讀數頭。

7.一種應用檢測平行度的裝置的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

一)調整二維運動模塊，使壓力腳下端面的左側一個點對準位置傳感器，將該點定義為A點；

二)驅動裝置驅動壓力腳下降，直至A點觸發位置傳感器，驅動裝置停止驅動并輸出一個信號給控制系統，控制系統接收到信號后讀取位置測量裝置的數據并記錄；

三)驅動裝置驅動壓力腳抬起至起始位置；

四)重新調整二維運動模塊，使壓力腳的下端面的右側、前側和后側的三個點分別對準位置傳感器，將該三個點定義為B點、C點和D點，然后以與步驟二)同樣的方法測量B點、C點和D點的數據；

五)最后，對比A點、B點、C點和D點的四個數據，若這四個數據最大值和最小值的誤差超過1mm則輸出警報，提醒操作員檢查壓力腳的裝配是否有問題，若誤差不超過1mm，則系統提示測量完成。

8.根據權利要求7所述的應用檢測平行度的裝置的檢測方法，其特征在于，在步驟二)和步驟三)之間還包括如下步驟：

步驟二′)驅動裝置驅動壓力腳抬起，然后二維運動模塊在水平方向上對位置傳感器相對于A點的位置進行微調，使位置傳感器向A點的前、后、左、右分別偏移0.5mm，然后以與步驟二)同樣的方法測量該四點的數據，得到包括A點的五組數據后，除去最大值和最小值后取平均值，得到A點的最終數據。

9.根據權利要求8所述的應用檢測平行度的裝置的檢測方法，其特征在于，在步驟四)與步驟五)之間還包括如下步驟：

步驟四′)B點、C點和D點也同樣采取步驟二′)的方法得到B點、C點和D點的最終數據。

10.根據權利要求7或8或9所述的應用檢測平行度的裝置的檢測方法，其特征在于，所述驅動裝置驅動壓力腳下降的速度為1m/min。