[發明專利]一種石墨烯磨頭的表面處理方法在審
| 申請號： | 201610692532.5 | 申請日： | 2016-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN106191855A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 肖笛;肖廣源 | 申請（專利權）人： | 上海華友金裕微電子有限公司 |
| 主分類號： | C23C24/10 | 分類號： | C23C24/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201700 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 烯磨頭 表面 處理 方法 | ||
【說明書】：
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