[發明專利]直寫式光刻機掃描采用不等距觸發進行圖形校正的方法

有效

• 申請號: 201610679761.3
• 申請日: 2016-08-17
• 公開（公告）號: CN106125515B
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 李顯杰
• 申請（專利權）人: 江蘇影速光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司23211
• 代理人: 蔡巖巖

技術領域

本發明涉及直寫式光刻機掃描不等距圖形校正方法，屬于圖形校正技術領域。

背景技術

直寫式光刻機設備又稱影像直接轉移設備，是半導體及PCB生產領域中有別于傳統半自動曝光設備的一個重要設備。是利用圖形發生器取代傳統光刻機的掩模板，從而可以直接將計算機的圖形數據曝光到晶圓或PCB板上，節省制板時間和制作掩模板的費用，并且自身可用做掩模板的制作。目前在基于掃描技術的投影過程中，如何保證圖形翻轉與承載晶圓或PCB基板的工件臺保持同步，是一個比較困難的問題。

較常用的兩種方法是基于工件臺位置信號和基于時間控制來觸發光刻機進行圖形翻轉，但這兩種方法都會存在一個缺點。因為每一臺設備工件臺的實際運動軌跡因安裝誤差、環境不同等等，都不可能按照理想的運動狀態進行運動。實際的工件臺，都會考核其運動過程中Yaw、Pitch、Roll值，這三個值會導致平臺在運動過程中與實際位置有所偏差，對影像轉移所帶來的最直觀的一個現象就是每個場內及場間，圖形由上至下產生拼接錯位不一致及變形的問題。現有技術中的校正方法均采用等距校正方法，該方法不僅校正效果不佳，并且不能消除工件臺運動誤差所帶來的各掃描視場間拼接不一致的問題。

發明內容

為解決現有技術中存在的技術問題，本發明提出了一種直寫式光刻機掃描不等距圖形校正方法，所采取的技術方案如下：

所述不等距圖形校正方法首先通過若干個工件臺位置觸發信號標定Trigger(觸發器)的長度；然后將圖形掃描的整個行程范圍分為多個校正段，每個校正段中均定義四個寄存器，所述四個寄存器分別定義校正段的起點、終點、校正間隔以及校正方向；最后根據每個校正段內圖像的錯位方向，結合對應校正段內四個寄存器的定義內容實現圖像的校正。

優選地，所述校正方法的具體步驟為：

第一步：采用多個工件臺位置觸發信號觸發多次圖形發生器，使圖形翻轉多；其中，每相鄰兩次圖像發生器的工件臺位置觸發信號的個數不想同；

第二步：將第一步中所述用多個工件臺位置觸發信號觸發一次圖像發生器定義為一個Trigger(觸發器)，記做TriggerP，其中，P的取值與工件臺位置觸發信號觸發次數相對應；

第三步：對圖像進行掃描，按照圖形掃描后各掃描視場間的誤差測量所得(拼接誤差的測量是PCB生產的工藝部分，曝光機曝光過后，經過顯影，然后在顯微鏡或線寬測量儀下進 行測量)的拼接誤差，將圖形掃描的整個行程范圍分為M個校正段；其中，M為大于等于1的整數；

第四步：在第三步所述M個校正段中的每個校正段內均定義四個寄存器，分別為一號寄存器，二號寄存器，三號寄存器和四號寄存器，所述一號寄存器定義其所在校正段的校正段起點；所述二號寄存器定義其所在校正段的校正段終點；所述三號寄存器定義其所在校正段的校正間隔；所述四號寄存器定義其所在校正段的校正方向；

第五步：從第1個校正段開始，檢測該校正段內是否存在圖像錯位，如存在圖像錯位，根據該校正段內圖像的錯位方向確定四號寄存器的校正方向，并對該校正段內的錯位圖像進行校正；

第六步：重復第五步檢測過程，對第2個校正段內的圖像進行檢測及圖像校正處理，直至完成第M個校正段內圖像的檢測及校正處理。

優選地，每經歷一個第二步所述的Trigger信號，工件臺位置觸發信號觸發圖像發生器翻轉一次圖像。

優選地，第三步所述M個校正段，每個校正段包含若干個Trigger，并且其包含的每相鄰的兩個Trigger內工件臺位置觸發信號的個數不同。

優選地，第四步所述校正間隔由Trigger的個數決定。

優選地，第四步所述校正方向包括正向校正和負向校正；所述正向校正過程中每個兩個Trigger，增加一個工件臺位置觸發信號；所述負向校正過程中每個兩個Trigger，減少一個工件臺位置觸發信號。

優選地，第五步所述圖像的錯位方向為正向錯位，則定義四號寄存器的校正方向為負向校正；第五步所述圖像的錯位方向為負向錯位，則定義四號寄存器的校正方向為正向校正。

本發明有益效果：

(1)、本發明提出的校正方法采用不等距校正方法對直寫式光刻機掃描圖像的錯位現象進行校正，克服了傳統直寫式光刻機中采用等距方法進行校正的技術偏見；