[發(fā)明專利]直寫式光刻機掃描采用不等距觸發(fā)進行圖形校正的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610679761.3
• 申請日: 2016-08-17
• 公開（公告）號: CN106125515B
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李顯杰
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇影速光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司23211
• 代理人: 蔡巖巖

1.直寫式光刻機掃描采用不等距觸發(fā)進行圖形校正的方法，其特征在于，所述不等距圖形校正方法首先通過若干個工件臺位置觸發(fā)信號標(biāo)定Trigger的長度；然后將圖形掃描的整個行程范圍分為M個校正段，其中，M為大于等于1的整數(shù)，每個校正段中均定義四個寄存器，所述四個寄存器分別定義校正段的起點、終點、校正間隔以及校正方向；最后根據(jù)每個校正段內(nèi)圖像的錯位方向，結(jié)合對應(yīng)校正段內(nèi)四個寄存器的定義內(nèi)容實現(xiàn)圖像的校正；

所述校正方法的具體步驟為：

第一步：采用多個工件臺位置觸發(fā)信號觸發(fā)多次圖形發(fā)生器，使多次圖形翻轉(zhuǎn)；其中，每相鄰兩次圖像發(fā)生器的工件臺位置觸發(fā)信號的個數(shù)不相同；

第二步：將第一步中所述用多個工件臺位置觸發(fā)信號觸發(fā)一次圖像發(fā)生器定義為一個Trigger，記做TriggerP，其中，P的取值與工件臺位置觸發(fā)信號觸發(fā)次數(shù)相對應(yīng)；

第三步：對圖像進行掃描，按照圖形掃描后各掃描視場間的誤差測量所得的拼接誤差，將圖形掃描的整個行程范圍分為M個校正段；

第四步：根據(jù)第三步所述的拼接誤差，在所述M個校正段中的每個校正段內(nèi)均定義四個寄存器，分別為一號寄存器，二號寄存器，三號寄存器和四號寄存器，所述一號寄存器定義其所在校正段的校正段起點；所述二號寄存器定義其所在校正段的校正段終點；所述三號寄存器定義其所在校正段的校正間隔；所述四號寄存器定義其所在校正段的校正方向；

第五步：從第1個校正段開始，根據(jù)第四步所述四個寄存器的定義值，檢測該校正段內(nèi)是否存在圖像錯位，如存在圖像錯位，根據(jù)該校正段內(nèi)圖像的錯位方向確定四號寄存器的校正方向，并對該校正段內(nèi)的錯位圖像進行校正；

第六步：重復(fù)第五步檢測過程，對第2個校正段內(nèi)的圖像進行檢測及圖像校正處理，直至完成第M個校正段內(nèi)圖像的檢測及校正處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形校正方法，其特征在于，圖像發(fā)生器每經(jīng)歷一個第二步所述的Trigger信號，多個工件臺位置觸發(fā)信號觸發(fā)圖像發(fā)生器翻轉(zhuǎn)一次圖像。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形校正方法，其特征在于，第三步所述M個校正段，每個校正段包含若干個Trigger，并且其包含的每相鄰的兩個Trigger內(nèi)工件臺位置觸發(fā)信號的個數(shù)不同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形校正方法，其特征在于，第四步所述校正間隔由Trigger的個數(shù)決定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形校正方法，其特征在于，第四步所述校正方向包括正向校正和負(fù)向校正；所述正向校正過程中每個兩個Trigger，增加一個工件臺位置觸發(fā)信號；所述負(fù)向校正過程中每個兩個Trigger，減少一個工件臺位置觸發(fā)信號。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形校正方法，其特征在于，第五步所述圖像的錯位方向為正向錯位，則定義四號寄存器的校正方向為負(fù)向校正；第五步所述圖像的錯位方向為負(fù)向錯位，則定義四號寄存器的校正方向為正向校正。