[發明專利]具有鍵合至產酸劑的感光劑的新光刻膠有效
| 申請號： | 201610669564.3 | 申請日： | 2016-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN106527046B | 公開（公告）日： | 2020-06-26 |
| 發明（設計）人： | 陳彥豪;王建惟 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 鍵合至產酸劑 感光劑 光刻 | ||
【說明書】：
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