[發明專利]一種立式鐘罩及加工方法

在審

• 申請號: 201610644932.9
• 申請日: 2016-08-09
• 公開（公告）號: CN107706126A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 張忠恕;陳強;張娟;于洋;邊占寧;劉文靜;王笑波;孫云濤;王志剛;李寶軍;馮繼瑤;王連連;李翔星;趙曉亮
• 申請（專利權）人: 北京凱德石英股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種立式鐘罩及加工方法，尤其涉及12寸立式鐘罩及加工方法。

背景技術

石英玻璃制品以其優良的物理化學特性被廣泛應用于集成電路芯片生產線。石英鐘罩與保溫筒及立式石英舟配套組合，多用于集成電路半導體芯片生產關鍵工序，是芯片生產過程中必不可少的工具。現有技術的12寸立式鐘罩結構復雜，加工程序繁瑣。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的在于提供一種立式鐘罩，其結構簡單，能夠快速適應生產線的制作。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：一種立式鐘罩，包括筒體和封頭，其特征在于，筒體部分為圓形直筒結構，封頭采用半橢圓結構，開口端固定有一乳白法蘭，在所述筒體內設有硅舟。

本發明相對于現有技術具有以下突出實質性特點和顯著進步：

結構簡單，筒體部分為圓形直筒結構，封頭采用半橢圓結構，開口端固定有一乳白法蘭，在所述筒體內設有硅舟，能夠快速適應生產線的制作。有效的避免了焊接過程的二次污染，產品潔凈度高；并且利用車床旋轉能夠保證管材的同心度，避免管體與法蘭偏離；焊口厚度均勻，尺寸精度高，焊接過程產生的應力小，不易炸裂。

附圖說明

圖1為本發明的立式鐘罩的結構示意圖；

圖2為立式鐘罩的俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好地理解本發明并能予以實施，但所舉實施例不作為對本發明的限定。

請參照圖1，本發明的立式鐘罩包括筒體10和封頭11，筒體部分為圓形直筒結構，封頭采用半橢圓結構，開口端固定有一乳白法蘭9，在所述筒體內設有硅舟12。

優選地，所述硅舟上設有多個以一定間距分布的石英載物臺141。

優選地，所述石英載物臺與硅舟之間進行垂直設置。

優選地，所述石英載物臺數量為8個，呈陣列分布于半球形封口的中下部。

優選地，在所述法蘭上部設有第一堵頭131與第二堵頭133，所述第一堵頭與第二堵頭呈現29-43度設置，便于快速適應生產線操作。

本發明還公開了立式鐘罩的加工方法，包括：步驟一，乳白法蘭的加工：選料，第一次退火，下料，磨削成型，第一次檢驗，酸洗，清洗，拋光，第二次退火，第二次檢驗；步驟二，筒體的加工：選料，酸洗，清洗，車床成型，第三次退火，第三次檢驗；步驟三，組裝：法蘭和筒體再酸洗，再清洗，車床焊接，第四次退火，第四次檢驗，第二次磨削成型，第五次檢驗，酸洗，清洗，拋光，第六次退火，第六次檢驗，最后，使得筒體部分為圓形直筒結構，封頭為半橢圓結構，開口端固定一乳白法蘭，在所述筒體內設硅舟。

優選地，所述磨削為直接將焊接完成的鐘罩在法蘭磨床上進行銑削。

本發明的優點是：

普通的產品退火一般采用臥式退火，而石英鐘罩由于尺寸較大，易變形，經過技術研發，采用專用的立式退火設備，對鐘罩進行立式退火，有效的解決了石英管變形的問題。

一般的石英管與乳白法蘭焊接均為手工焊接，由于石英鐘罩尺寸大、精度高，采用手工焊接不僅精度低，焊縫薄厚不勻，還會在焊接過程中形成應力，產生炸裂。可加工400mm以下的石英管材，采用玻璃車床焊接技術，有效的避免了焊接過程的二次污染，產品潔凈度高；并且利用車床旋轉能夠保證管材的同心度，避免管體與法蘭偏離；焊口厚度均勻，尺寸精度高，焊接過程產生的應力小，不易炸裂。

傳統的加工工藝，是先將法蘭進行磨削成型，與管體手工焊接后，由工人進行焊點多余焊料的研磨，由于手工焊接焊條的走料控制不能確保力度一致，余料薄厚不均，加工效率低，且不能保證加工精度。采用一體磨削成型技術，直接將焊接完成的鐘罩在法蘭磨床上進行銑削，在管道的同心度、垂直度上都能夠進行有效的控制，平面度可達0.02mm，是手工研磨無法達到的精度。加工效率較傳統工藝可提高2-3倍。

采用乳白法蘭，有效的降低了熱傳導過程中的溫度擴散，使晶圓片在加工過程中受熱均勻，溫度控制穩定，提高了晶圓片的成品率。

以上所述實施例僅是為充分說明本發明而所舉的較佳的實施例，本發明的保護范圍不限于此。本技術領域的技術人員在本發明基礎上所作的等同替代或變換，均在本發明的保護范圍之內。本發明的保護范圍以權利要求書為準。