[發明專利]一種立式鐘罩及加工方法

在審

• 申請號: 201610644932.9
• 申請日: 2016-08-09
• 公開（公告）號: CN107706126A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 張忠恕;陳強;張娟;于洋;邊占寧;劉文靜;王笑波;孫云濤;王志剛;李寶軍;馮繼瑤;王連連;李翔星;趙曉亮
• 申請（專利權）人: 北京凱德石英股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種立式鐘罩，包括筒體和封頭，其特征在于，筒體部分為圓形直筒結構，封頭采用半橢圓結構，開口端固定有一乳白法蘭，在所述筒體內設有硅舟。

2.如權利要求1所述的立式鐘罩，其特征在于，所述硅舟上設有多個以一定間距分布的石英載物臺。

3.如權利要求2所述的立式鐘罩，其特征在于，所述石英載物臺與硅舟之間進行垂直設置。

4.如權利要求3所述的立式鐘罩，其特征在于，所述石英載物臺數量為8個，呈陣列分布于半球形封口的中下部。

5.如權利要求1所述的立式鐘罩，其特征在于，在所述法蘭上部設有第一堵頭131與第二堵頭133，所述第一堵頭與第二堵頭呈現29-43度設置。

6.一種立式鐘罩的加工方法，其特征在于，包括：

步驟一，乳白法蘭的加工：選料，第一次退火，下料，磨削成型，第一次檢驗，酸洗，清洗，拋光，第二次退火，第二次檢驗；

步驟二，筒體的加工：選料，酸洗，清洗，車床成型，第三次退火，第三次檢驗；

步驟三，組裝：法蘭和筒體再酸洗，再清洗，車床焊接，第四次退火，第四次檢驗，第二次磨削成型，第五次檢驗，酸洗，清洗，拋光，第六次退火，第六次檢驗，最后，使得筒體部分為圓形直筒結構，封頭為半橢圓結構，開口端固定一乳白法蘭，在所述筒體內設硅舟。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述磨削為直接將焊接完成的鐘罩在法蘭磨床上進行銑削。