[發明專利]組合調零激光大工作距自準直裝置與方法

有效

• 申請號: 201610639006.2
• 申請日: 2016-08-07
• 公開（公告）號: CN106323199B
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 譚欣然;朱凡;王超;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01C1/00;G02B27/30
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209
• 代理人: 張偉

1.組合調零激光大工作距自準直裝置，其特征在于，包括光源(1)、透射式準直鏡(21)、反射鏡(3)、以及反饋成像系統(6)，所述反射鏡(3)上設置有角度調整測量裝置(4)；光源(1)出射的光束，經過透射式準直鏡(21)準直成平行光束后，再由反射鏡(3)反射，入射到被測物(5)的表面；從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，由反饋成像系統(6)采集成像；

所述反饋成像系統(6)為以下兩種形式中的一種：

第一、反饋成像系統(6)包括圖像傳感器成像系統和四象限探測器成像系統；

所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡(61)和設置在透射式準直鏡(21)焦點處的圖像傳感器(65)；從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，先后經過透射式準直鏡(21)投射、第一反饋分光鏡(61)反射、由圖像傳感器(65)采集成像；在被測物(5)表面與光軸垂直的條件下，圖像傳感器(65)所成點像在像面中心位置；

或

所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡(61)、第一反饋物鏡(63)和設置在第一反饋物鏡(63)焦點處的圖像傳感器(65)；從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，先后經過第一反饋分光鏡(61)反射、第一反饋物鏡(63)透射、由圖像傳感器(65)采集成像；在被測物(5)表面與光軸垂直的條件下，圖像傳感器(65)所成點像在像面中心位置；

所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡(62)和設置在透射式準直鏡(21)焦點處的四象限探測器(66)；從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，先后經過透射式準直鏡(21)投射、第二反饋分光鏡(62)反射、由四象限探測器(66)采集成像；在被測物(5)表面與光軸垂直的條件下，四象限探測器(66)所成點像在像面中心位置；

或

所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡(62)、第二反饋物鏡(64)和設置在第二反饋物鏡(64)焦點處的四象限探測器(66)；從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，先后經過第二反饋分光鏡(62)反射、第二反饋物鏡(64)透射、由四象限探測器(66)采集成像；在被測物(5)表面與光軸垂直的條件下，四象限探測器(66)所成點像在像面中心位置；

第二、反饋成像系統(6)包括第一反饋分光鏡(61)、以及由導軌(68)承載的圖像傳感器(65)和四象限探測器(66)，所述導軌(68)共有兩個停頓位置，一個停頓位置使圖像傳感器(65)像面中心對應透射式準直鏡(21)的焦點位置，另一個停頓位置使四象限探測器(66)像面中心對應透射式準直鏡(21)的焦點位置；

或

反饋成像系統(6)包括第一反饋分光鏡(61)、第一反饋物鏡(63)、以及由導軌(68)承載的圖像傳感器(65)和四象限探測器(66)，所述導軌(68)共有兩個停頓位置，一個停頓位置使圖像傳感器(65)像面中心位于第一反饋物鏡(63)的焦點位置，另一個停頓位置使四象限探測器(66)像面中心位于第一反饋物鏡(63)的焦點位置；

所述角度調整測量裝置(4)包括設置在反射鏡(3)上的角度調整裝置、角度偏轉測量裝置、以及萬向軸(43)，角度調整裝置包括第一驅動器(411)和第二驅動器(412)；第一驅動器(411)與萬向軸(43)的連線垂直第二驅動器(412)與萬向軸(43)的連線；角度偏轉測量裝置為共光路自準直儀(429)。