[發(fā)明專利]一種含有自檢測(cè)功能的面內(nèi)電容式加速度傳感器及其制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610625432.0 | 申請(qǐng)日： | 2016-08-02 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106018880A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海芯赫科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01P15/125 | 分類號(hào)： | G01P15/125;G01P21/00 |
| 代理公司： | 廣東莞信律師事務(wù)所 44332 | 代理人： | 曹柏榮;廖志男 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定區(qū)*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 含有 檢測(cè) 功能 電容 加速度 傳感器 及其 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件
- 檢測(cè)方法、檢測(cè)裝置和檢測(cè)系統(tǒng)
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法以及記錄介質(zhì)
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