[發明專利]一種透射光柵有效
| 申請號： | 201610624132.0 | 申請日： | 2016-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN106094086B | 公開（公告）日： | 2019-10-29 |
| 發明（設計）人： | 史麗娜;劉子維;浦探超;李海亮;牛潔斌;謝常青;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所 11302 | 代理人： | 房德權 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透射 光柵 | ||
【說明書】：
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