[發明專利]光刻膠圖形成形方法及裝置、膜層、基板及制作方法在審
| 申請號： | 201610579302.8 | 申請日： | 2016-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN105974740A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 李賀飛;宮奎;王鋮鋮;董必良;李紀龍 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F1/80 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 圖形 成形 方法 裝置 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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