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[發明專利]多孔氮化硅支撐膜窗格的制備有效

專利信息
申請號: 201610577013.4 申請日: 2016-07-20
公開(公告)號: CN105977122B 公開(公告)日: 2018-12-21
發明(設計)人: 時金安;谷林 申請(專利權)人: 中國科學院物理研究所
主分類號: H01J37/20 分類號: H01J37/20
代理公司: 北京市英智偉誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11521 代理人: 劉丹妮
地址: 100190 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多孔 氮化 支撐 膜窗格 制備
【權利要求書】:
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