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[發明專利]一種基于碳納米紅外吸收層的紅外探測器有效

專利信息
申請號: 201610566514.2 申請日: 2016-07-19
公開(公告)號: CN106092334B 公開(公告)日: 2018-06-22
發明(設計)人: 魏興戰;楊俊;馮雙龍;申鈞;周大華;湯林龍;史浩飛;杜春雷 申請(專利權)人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院
主分類號: G01J5/20 分類號: G01J5/20
代理公司: 北京元本知識產權代理事務所 11308 代理人: 黎昌莉
地址: 400714 *** 國省代碼: 重慶;50
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氮化硅層 紅外探測器 紅外吸收層 碳納米 紅外吸收 金屬反射層 寬波段 熱敏電阻層 探測靈敏度 器件結構 復合膜 硅襯底 諧振腔 橋墩 兼容 支撐 生產
【說明書】:
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