[發明專利]一種消除硅芯異常的方法有效
| 申請號： | 201610539047.4 | 申請日： | 2016-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN106191994B | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 鮑守珍;王丙軍;高承燕;李超軍;何乃棟;蔡延國;宗冰;王體虎 | 申請（專利權）人： | 亞洲硅業（青海）有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 陳正興 |
| 地址： | 810007 青海省*** | 國省代碼： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 循環氫 介孔分子篩 硅芯 媒介 氮化物 還原爐 氧化物 氮氣 多晶硅產品 還原爐底盤 兩步預處理 三氯氫硅 一步處理 異常問題 爐底盤 有效地 富集 爐內 內件 涂覆 氧氣 吸收 | ||
【說明書】：
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