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[發明專利]一種紅外焦平面芯片的銦柱制備方法在審

專利信息
申請號: 201610538918.0 申請日: 2016-07-11
公開(公告)號: CN106024982A 公開(公告)日: 2016-10-12
發明(設計)人: 許佳佳;陳建新;馬偉平;潘建珍;李寧;白治中 申請(專利權)人: 中國科學院上海技術物理研究所
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18;H01L21/768
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 紅外 平面 芯片 制備 方法
【說明書】:
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