[發明專利]用于顯示器的MEMS光調制器

有效

• 申請號: 201610520637.2
• 申請日: 2016-07-04
• 公開（公告）號: CN107577043B
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 愛德華·帕克奇亞恩
• 申請（專利權）人: 愛德華·帕克奇亞恩
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G09F9/37
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 周靖;王漪

1.一種機電顯示元件，包括：

遮光板，其具有相對的第一端和第二端，所述遮光板使用附接在所述遮光板的所述第一端處的多個支持架和附接在所述遮光板的所述第二端處的多個支持架被支承在基底的表面上，所述支持架位于所述遮光板和所述基底的表面之間，并且所述支持架的縱向方向實質上平行于所述基底的表面被定位，所述遮光板還包括第一法蘭，所述第一法蘭從所述遮光板的所述第一端延伸并且與第一固定電極形成第一靜電致動器，其中所述第一靜電致動器向所述第一法蘭施加力，并且將附接在所述遮光板的所述第一端處的所述支持架中的每個支持架從相對于所述第一法蘭的表面的傾斜位置拉到相對于所述第一法蘭的表面的幾乎法向位置，并且在相對于所施加的力的橫向方向上將所述遮光板從機械中性位置移動到第一位置，附接在所述遮光板的所述第一端處的所述支持架限制所述遮光板在由所述第一靜電致動器施加的力的方向上的移動，并且防止所述第一法蘭和所述第一固定電極之間的物理接觸。

2.一種機電顯示元件，包括：

遮光板，其具有相對的第一端和第二端，所述遮光板使用附接在所述遮光板的所述第一端處的多個支持架和附接在所述遮光板的所述第二端處的多個支持架被支承在基底的表面上，所述支持架位于所述遮光板和所述基底的表面之間，并且所述支持架的縱向方向實質上平行于所述基底的表面被定位，所述遮光板還包括第一法蘭和第二法蘭，所述第一法蘭從所述遮光板的所述第一端延伸并且與第一固定電極形成第一靜電致動器，所述第二法蘭從所述遮光板的所述第二端延伸并且與第二固定電極形成第二靜電致動器，其中所述第一靜電致動器向所述第一法蘭施加第一力，并且將附接在所述遮光板的所述第一端處的所述支持架中的每個支持架從相對于所述第一法蘭的表面的傾斜位置拉到相對于所述第一法蘭的表面的幾乎法向位置，并且在相對于所施加的第一力的橫向方向上將所述遮光板移動到第一位置，所述第二靜電致動器向所述第二法蘭施加第二力，并且將附接在所述遮光板的所述第二端處的所述支持架中的每個支持架從相對于所述第二法蘭的表面的傾斜位置拉到相對于所述第二法蘭的表面的幾乎法向位置，并且在相對于所施加的第二力的橫向方向上將所述遮光板移動到第二位置，附接在所述遮光板的所述第一端處的所述支持架限制所述遮光板在由所述第一靜電致動器所施加的力的方向上的移動并且防止所述第一法蘭和所述第一固定電極之間的物理接觸，附接在所述遮光板的所述第二端處的所述支持架限制所述遮光板在由所述第二靜電致動器所施加的力的方向上的移動并防止所述第二法蘭和所述第二固定電極之間的物理接觸。

3.根據權利要求1或2所述的機電顯示元件，其中所述遮光板使用懸臂梁被支承在所述基底的表面上，以及其中每個所述懸臂梁的第一端使用第一接線柱附接到所述基底的表面，并且第二端使用第二接線柱附接到所述遮光板。

4.根據權利要求1所述的機電顯示元件，其中所述遮光板還包括第二法蘭，所述第二法蘭從所述遮光板的所述第二端延伸并且與第二固定電極形成第二靜電致動器，所述支持架的縱向方向是實質上筆直的，以及附接在所述第一端處的所述支持架相對于附接在所述第二端處的所述支持架傾斜，附接在所述遮光板的所述第二端處的每個所述支持架的縱向方向相對于所述第二法蘭的表面幾乎法向定位。

5.根據權利要求2所述的機電顯示元件，其中附接在所述第一端處的所述支持架的縱向方向是實質上筆直的，以及附接在所述第二端處的所述支持架的縱向方向是彎曲的。

6.根據權利要求1或2所述的機電顯示元件，其中所述支持架位于所述遮光板和所述表面之間并且實質上在所述遮光板的邊界內，并且所述支持架與所述遮光板間隔開第一間隙并與所述基底的表面間隔開第二間隙。

7.根據權利要求1或2所述的機電顯示元件，其中附接在所述遮光板的所述第一端處的所述支持架的縱向方向相對于所述第一法蘭的表面形成在70度到89度之間的角。

8.根據權利要求1或2所述的機電顯示元件，其中每個所述法蘭相對于所述基底的表面從法線延伸5度之內。