[發(fā)明專利]硅片表面吹干裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610507777.6
• 申請(qǐng)日: 2016-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN107564832A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔敏娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 崔敏娟
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光伏領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片表面吹干裝置。

背景技術(shù)

目前，硅片在生產(chǎn)過(guò)程中，需經(jīng)過(guò)吹干工序，用于將硅片表面吹干，現(xiàn)有市場(chǎng)上的硅片表面吹干裝置存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高，效率低的問(wèn)題，由此，急需解決。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種硅片表面吹干裝置，以解決現(xiàn)有硅片表面吹干裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高、效率低的問(wèn)題。

本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種硅片表面吹干裝置，包括機(jī)座，所述機(jī)座上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有上輥軸、下輥軸，所述上輥軸上安裝有上輥輪，所述下輥軸上安裝有下輥輪，所述上輥輪、下輥輪之間形成有用于運(yùn)輸硅片的輸送輥道，機(jī)座上位于上輥輪的上部安裝有上氣管，所述上氣管與上氣源相連，且上氣管上均布有若干個(gè)上出氣孔，所述機(jī)座上位于下輥輪的下部安裝有下氣管，所述下氣管與下氣源相連，且下氣管上均布有若干個(gè)下出氣孔。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述上氣管與上氣源相連的管路上設(shè)置有上壓力調(diào)節(jié)閥，所述下氣管與下氣源相連的管路上設(shè)置有下壓力調(diào)節(jié)閥。

本發(fā)明的有益效果為，所述硅片表面吹干裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)，通過(guò)設(shè)置上氣管、下氣管，可同時(shí)對(duì)硅片的兩面進(jìn)行吹干，大大提高了效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明硅片表面吹干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:

1、機(jī)座；2、上輥軸；3、下輥軸；4、上輥輪；5、下輥輪；6、上氣管；7、上氣源；8、上壓力調(diào)節(jié)閥；9、上出氣孔；10、下氣管；11、下氣源；12、下壓力調(diào)節(jié)閥；13、下出氣孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過(guò)具體實(shí)施方式來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。可以理解的是，此處所描述的實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，而非對(duì)本發(fā)明的限定。

請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，圖1為本發(fā)明硅片表面吹干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

于本實(shí)施例中，一種硅片表面吹干裝置，包括機(jī)座1，所述機(jī)座1上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有上輥軸2、下輥軸3，所述上輥軸2上安裝有上輥輪4，所述下輥軸3上安裝有下輥輪5，所述上輥輪4、下輥輪5之間形成有用于運(yùn)輸硅片的輸送輥道，機(jī)座1上位于上輥輪4的上部安裝有上氣管6，所述上氣管6與上氣源7相連，且上氣管6與上氣源7相連的管路上設(shè)置有上壓力調(diào)節(jié)閥8，所述上氣管6上均布有若干個(gè)上出氣孔9，所述機(jī)座1上位于下輥輪5的下部安裝有下氣管10，所述下氣管10與下氣源11相連，且下氣管10與下氣源11相連的管路上設(shè)置有下壓力調(diào)節(jié)閥12，所述下氣管10上均布有若干個(gè)下出氣孔13。

上述硅片表面吹干裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)，通過(guò)設(shè)置上氣管6、下氣管10，可同時(shí)對(duì)硅片的兩面進(jìn)行吹干，大大提高了效率。

以上實(shí)施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性，本發(fā)明不受上述實(shí)施例限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書界定。