[發(fā)明專利]硅片表面吹干裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610507777.6
• 申請日: 2016-06-30
• 公開（公告）號: CN107564832A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔敏娟
• 申請（專利權(quán)）人: 崔敏娟
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英

1.一種硅片表面吹干裝置，其特征在于：包括機座，所述機座上轉(zhuǎn)動連接有上輥軸、下輥軸，所述上輥軸上安裝有上輥輪，所述下輥軸上安裝有下輥輪，所述上輥輪、下輥輪之間形成有用于運輸硅片的輸送輥道，機座上位于上輥輪的上部安裝有上氣管，所述上氣管與上氣源相連，且上氣管上均布有若干個上出氣孔，所述機座上位于下輥輪的下部安裝有下氣管，所述下氣管與下氣源相連，且下氣管上均布有若干個下出氣孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片表面吹干裝置，其特征在于：所述上氣管與上氣源相連的管路上設(shè)置有上壓力調(diào)節(jié)閥，所述下氣管與下氣源相連的管路上設(shè)置有下壓力調(diào)節(jié)閥。