[發(fā)明專(zhuān)利]一種PVT法大直徑碳化硅單晶生長(zhǎng)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610486891.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106048729B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 于國(guó)建;宗艷民;宋生;梁慶瑞 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B29/36 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 濟(jì)南舜源專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻;孫亞琳 |
| 地址： | 250101 山東省濟(jì)南市高新區(qū)新*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 pvt 直徑 碳化硅 生長(zhǎng) 裝置 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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