[發(fā)明專(zhuān)利]一種PVT法大直徑碳化硅單晶生長(zhǎng)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610486891.5 | 申請(qǐng)日: | 2016-06-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN106048729B | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-04-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 于國(guó)建;宗艷民;宋生;梁慶瑞 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C30B29/36 | 分類(lèi)號(hào): | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司: | 濟(jì)南舜源專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 37205 | 代理人: | 苗峻;孫亞琳 |
| 地址: | 250101 山東省濟(jì)南市高新區(qū)新*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 pvt 直徑 碳化硅 生長(zhǎng) 裝置 | ||
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