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[發(fā)明專利]銷座、腔體內(nèi)部的銷損壞檢測裝置及其方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201610479180.5 申請日: 2016-06-27
公開(公告)號: CN107220136A 公開(公告)日: 2017-09-29
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李淳鐘;李東錫;申河榮 申請(專利權(quán))人: 塞米西斯科株式會(huì)社
主分類號: G06F11/07 分類號: G06F11/07
代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205 代理人: 楊貝貝,臧建明
地址: 韓國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 銷座 體內(nèi) 損壞 檢測 裝置 及其 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種銷損壞檢測裝置,其特征在于,包括:

銷座,其結(jié)合于腔體的一面;以及

光輸出部,其向所述銷座照射光信號,

其中,所述銷座具有透明透過部,從所述光輸出部輸出的光信號在通過所述銷座的透明透過部后向連接于工作臺的銷入射,通過分析向所述銷入射的光信號的反射圖案檢測所述銷是否損壞。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銷損壞檢測裝置,其特征在于:

所述銷損壞檢測裝置在所述光信號的反射圖案為第一圖案時(shí)確定所述銷損壞,所述光信號的反射圖案為第二圖案時(shí)確定所述銷未損壞。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銷損壞檢測裝置,其特征在于:

所述光輸出部設(shè)置成與所述透明透過部的位置一致。

4.一種銷座,其結(jié)合到腔體,其特征在于,包括:

透明透過部,其位于所述腔體的內(nèi)部空間;以及

支撐部,其支撐所述透明透過部使得所述透明透過部受到所述腔體的支撐,

其中,從外部輸出的光信號通過所述支撐部及所述透明透過部入射到連接于工作臺的銷。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的銷座,其特征在于:

所述銷座的上端中一部分由陶瓷材料形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的銷座,其特征在于:

所述銷座的上端設(shè)置有能夠變更所述光信號的路徑的鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的銷座,其特征在于:

所述鏡配置成傾斜指定角度使得通過所述透明透過部垂直入射的光信號的路徑變更成水平方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的銷座,其特征在于:

所述透明透過部通過O型圈密著到所述銷座使得所述腔體能夠在工程期間保持真空狀態(tài)。

9.一種銷損壞檢測裝置,其特征在于,包括:

多個(gè)銷座,其結(jié)合于腔體的一面;以及

多個(gè)光輸出部,其向所述銷座照射光信號,

其中,所述光輸出部分別設(shè)置于各銷座,

所述銷座具有透明透過部,從所述光輸出部輸出的光信號在通過所述銷座的透明透過部后向連接于工作臺的銷入射,通過分析向所述銷入射的光信號的反射圖案檢測所述銷是否損壞。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的銷損壞檢測裝置,其特征在于:

根據(jù)所述光輸出部的識別信息識別所述銷的位置。

11.一種銷損壞檢測方法,其特征在于,包括:

從銷座下部向銷座上部照射光信號的步驟;以及

分析通過所述銷座后向連接于工作臺的銷入射的光信號的反射圖案檢測所述銷是否損壞的步驟。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的銷損壞檢測方法,其特征在于,檢測所述銷是否損壞的步驟包括:

接收到第一反射圖案時(shí)確定所述銷損壞的步驟;以及

接收到第二反射圖案時(shí)確定所述銷未損壞的步驟。

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