[發明專利]一種抗高過載低量程電容式加速度傳感器及其制造方法有效
| 申請號： | 201610476837.2 | 申請日： | 2016-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN106199071B | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發明（設計）人： | 石云波;劉俊;馮恒振;秦麗;唐軍;馬宗敏;曹慧亮;連樹仁;孫亞楠;韓興宇 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 過載 量程 電容 加速度 傳感器 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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