[發明專利]有機層沉積裝置、有機發光顯示裝置和顯示裝置制造方法有效
| 申請號: | 201610463200.X | 申請日: | 2016-06-23 |
| 公開(公告)號: | CN106435477B | 公開(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發明(設計)人: | 李秀奐;金茂顯;李東規;金恩鎬 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/12 | 分類號: | C23C14/12;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 | 代理人: | 王達佐;王艷春 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 沉積 裝置 發光 顯示裝置 制造 方法 | ||
【說明書】:
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