[發明專利]一種激振?吸振行波引導微流體運輸的裝置

有效

• 申請號: 201610457446.6
• 申請日: 2016-06-22
• 公開（公告）號: CN105927519B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 江海;呂慶慶;顧守東;路崧;劉建芳;王吉舉;王全偉;吳亞東;王迪
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: F04B43/12
• 分類號: F04B43/12
• 代理公司: 長春市四環專利事務所(普通合伙)22103
• 代理人: 郭耀輝

1.一種激振-吸振行波引導微流體運輸的裝置，包括超聲行波驅動微器件(100)、超聲波信號發生器(9)、電阻(7)和電感(8)；其特征在于超聲行波驅動微器件(100)是通過在第二硅片(5)上沉積一層Si₃N₄薄膜(4)；然后通過微加工工藝把第二硅片(5)刻蝕為第三硅片(5a)并同時完成第三硅片(5a)與第一硅片(6)的鍵合，其中第一硅片(6)上刻有所需的直線式微管道結構；隨后在Si₃N₄薄膜(4)上鍵合Glass片(3)，然后將第一PZT-4薄片和第二PZT-4薄片分別粘結于Glass片(3)上，超聲波信號發生器(9)與第一PZT-4薄片相連，使其產生高頻往復振動并激勵出彎曲行波，當激勵的彎曲行波傳播至另一端時會使另一端上與電阻(7)和電感(8)相連的第二PZT-4薄片也產生上下往復地高頻振動，這樣可通過調節電阻(7)和電感(8)來予以吸收傳遞來的彎曲行波能量，使其整個激振-吸振行波引導微流體運輸的裝置產生單向直線式超聲行波，并實現驅動并控制微管道內微流體的運輸。