[發明專利]U型蝕刻直角臺面硅二極管及其硅芯和制備方法在審
| 申請號： | 201610439122.X | 申請日： | 2016-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN106098791A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發明（設計）人： | 陳福元;胡煜濤;毛建軍;任亮;蘇云清;虞旭俊 | 申請（專利權）人： | 杭州賽晶電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/861 | 分類號： | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高;傅朝棟 |
| 地址： | 310000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 直角 臺面 二極管 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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