[發(fā)明專利]一種質(zhì)譜儀用射頻電源及質(zhì)譜儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610414749.X
• 申請(qǐng)日: 2016-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105895491B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王曉浩;魯信瓊;余泉;倪凱;錢翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)深圳研究生院
• 主分類號(hào): H01J49/02
• 分類號(hào): H01J49/02
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44223
• 代理人: 王震宇

1.一種質(zhì)譜儀用射頻電源，其特征在于,包括信號(hào)源、互補(bǔ)信號(hào)產(chǎn)生電路、信號(hào)耦合電路和驅(qū)動(dòng)電路；

其中所述信號(hào)源產(chǎn)生兩路正弦信號(hào)RF和AC；

所述互補(bǔ)信號(hào)產(chǎn)生電路基于正弦信號(hào)RF和AC產(chǎn)生RF+、RF-、AC+和AC-四路信號(hào)，其中RF+和RF-互補(bǔ)，AC+和AC-互補(bǔ)；

所述信號(hào)耦合電路將AC+和AC-耦合到RF+信號(hào)上，得到RF+AC+耦合信號(hào)和RF+AC-耦合信號(hào)，所述驅(qū)動(dòng)電路將RF+AC+耦合信號(hào)、RF+AC-耦合信號(hào)和RF-信號(hào)放大產(chǎn)生高壓射頻電壓，并輸出到負(fù)載上；或者，所述信號(hào)耦合電路將AC+和AC-耦合到RF-信號(hào)上，得到RF-AC+耦合信號(hào)和RF-AC-耦合信號(hào)，所述驅(qū)動(dòng)電路將RF-AC+耦合信號(hào)、RF-AC-耦合信號(hào)和RF+信號(hào)放大產(chǎn)生高壓射頻電壓，并輸出到負(fù)載上；

所述互補(bǔ)信號(hào)產(chǎn)生電路使用同相放大器和反相放大器產(chǎn)生幅度相同相位差180°的RF+、RF-信號(hào)，幅度相同相位差180°的AC+、AC-信號(hào)；

所述互補(bǔ)信號(hào)產(chǎn)生電路使用差分電壓反饋ADC驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)；

所述信號(hào)耦合電路在低壓端使用線性運(yùn)算電路將RF+或RF-和AC+、AC-信號(hào)耦合在一起；

所述驅(qū)動(dòng)電路包括線性放大電路，由直流高壓電源為所述驅(qū)動(dòng)電路提供電源，通過(guò)所述線性放大電路產(chǎn)生施加到負(fù)載上的高壓射頻電壓，所述驅(qū)動(dòng)電路使用高壓運(yùn)算放大器或者分立元件搭建的比例放大電路產(chǎn)生高壓射頻電壓，產(chǎn)生的高壓射頻電壓的頻率在0Hz～1MHz范圍內(nèi)可連續(xù)調(diào)節(jié)，輸出電壓0V～600V線性連續(xù)可調(diào)，所述驅(qū)動(dòng)電路輸出的高壓射頻電壓對(duì)所述負(fù)載具有頻率Ω₀和幅度V可調(diào)節(jié)性。

2.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀用射頻電源，其特征在于，所述負(fù)載是通過(guò)施加射頻電壓構(gòu)造四極場(chǎng)控制離子運(yùn)動(dòng)的設(shè)備。

3.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀用射頻電源，其特征在于，所述負(fù)載為射頻離子阱、濾質(zhì)器或離子漏斗。

4.一種質(zhì)譜儀，其特征在于,具有如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的質(zhì)譜儀用射頻電源。