[發(fā)明專利]一種雙空腔壓力計芯片及其制造工藝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610412814.5 | 申請日： | 2016-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN106124117B | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張軼銘;曾凡;王文;周顯良 | 申請（專利權）人： | 中國科學院地質與地球物理研究所;王文 |
| 主分類號： | G01L9/06 | 分類號： | G01L9/06;B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京金之橋知識產(chǎn)權代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建軍 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空腔 壓力計 芯片 及其 制造 工藝 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院地質與地球物理研究所;王文，未經(jīng)中國科學院地質與地球物理研究所;王文許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610412814.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種電站鍋爐的煙氣冷卻裝置
- 下一篇：蚊蟲捕殺裝置
