[發明專利]一種超精密研磨頭裝置

有效

• 申請號: 201610409178.0
• 申請日: 2016-06-08
• 公開（公告）號: CN105881196B
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 王宇;曹勝;李財;潘小強
• 申請（專利權）人: 浙江科技學院
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司11246
• 代理人: 韓燕燕,連圍

1.一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：包括研磨頭(1)和勵磁裝置(2)，研磨頭(1)與勵磁裝置(2)連接，勵磁裝置(2)帶動研磨頭(1)轉動并將磁性傳遞給研磨頭(1)；勵磁裝置(2)內部設置有氣體通道(3)，氣體通道(3)與研磨頭(1)相連通，氣體通道(3)內的氣流經過研磨頭(1)從研磨頭(1)外表面噴出；所述研磨頭(1)包括磁芯磨頭(11)和氣孔磨頭(12)，磁芯磨頭(11)前端位于氣孔磨頭(12)內，磁芯磨頭(11)前端與氣孔磨頭(12)之間形成有空隙(4)，磁芯磨頭(11)后端與勵磁裝置(2)固定連接，氣孔磨頭(12)與磁芯磨頭(11)同步轉動；磁芯磨頭(11)后端設置有空腔(1101)，氣體通道(3)與空腔(1101)相連，磁芯磨頭(11)上空腔(1101)與空隙(4)之間設置有通氣孔(5)；氣孔磨頭(12)的工作面上設置有氣孔(6)。

2.如權利要求1所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：所述勵磁裝置(2)包括電磁鐵芯軸(21)、線圈隔熱套筒(22)和線圈(23)，線圈(23)纏繞在線圈隔熱套筒(22)上，線圈隔熱套筒(22)套在電磁鐵芯軸(21)上，電磁鐵芯軸(21)與研磨頭(1)固定連接，氣體通道(3)設置在電磁鐵芯軸(21)內部。

3.如權利要求2所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：所述氣體通道(3)中心線與電磁鐵芯軸(21)中心線重合；所述電磁鐵芯軸(21)上設置有氣道(7)，氣道(7)連通氣體通道(3)和電磁鐵芯軸(21)外表面，氣道(7)位于線圈(23)和電磁鐵芯軸(21)之間。

4.如權利要求1所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：所述氣孔磨頭(12)表面的氣孔(6)直徑為亞微米級。

5.如權利要求1所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：所述氣孔磨頭(12)表面的氣孔(6)直徑為納米級。

6.如權利要求1所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：所述氣孔(6)在氣孔磨頭(12)表面均勻布置；通氣孔(5)相對于磁芯磨頭(11)的中心線對稱布置。

7.如權利要求1所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：所述磁芯磨頭(11)的中心線和氣孔磨頭(12)的中心線重合。

8.如權利要求1所述的一種超精密研磨頭裝置，其特征在于：磁芯磨頭(11)的材質是軟鐵或者硅鋼材料。