[發明專利]用于成膜厚度監測的石英晶體諧振器、監測儀及監測方法在審
| 申請號： | 201610402649.5 | 申請日： | 2016-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN106092002A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發明（設計）人： | 孔國文;劉青健;葉夏時 | 申請（專利權）人： | 應達利電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B17/02 | 分類號： | G01B17/02;H03H9/19 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 王利彬 |
| 地址： | 518103 廣東省深圳市寶安區福永*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 厚度 監測 石英 晶體 諧振器 方法 | ||
【說明書】：
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