[發明專利]一種高均勻性的電熱MEMS微鏡/微鏡陣列及制造方法在審
| 申請號： | 201610400899.5 | 申請日： | 2016-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN106066535A | 公開（公告）日： | 2016-11-02 |
| 發明（設計）人： | 王偉;丁金玲;陳巧;孫其梁;謝會開 | 申請（專利權）人： | 無錫微奧科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262 | 代理人： | 趙華 |
| 地址： | 214100 江蘇省無錫市新區*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 均勻 電熱 mems 微鏡 陣列 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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