[發明專利]一種氧化鋅/氮化鎵復合薄膜制備方法有效
| 申請號： | 201610377095.8 | 申請日： | 2016-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN106086795B | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發明（設計）人： | 咸馮林;徐林華;鄭改革;匡文劍;李金花;曹兆樓;裴世鑫;賴敏 | 申請（專利權）人： | 南京信息工程大學 |
| 主分類號： | C23C14/28 | 分類號： | C23C14/28;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京鐘山專利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝榮 |
| 地址： | 210019 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氧化鋅 氮化 復合 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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