[發(fā)明專(zhuān)利]制造開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610374395.0
• 申請(qǐng)日: 2016-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106887410B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃在晧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 愛(ài)思開(kāi)海力士有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/8238
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/8238;H01L21/768;H01L23/522
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 李少丹;許偉群

一種制造開(kāi)關(guān)電容式轉(zhuǎn)換器的方法包括：提供具有頂表面和底表面的半導(dǎo)體層；在半導(dǎo)體層的頂表面上形成開(kāi)關(guān)元件；在開(kāi)關(guān)元件上形成第一絕緣層和第一互連圖案；在第一絕緣層和第一互連圖案之上形成第二絕緣層；在第二絕緣層之上形成第二互連圖案；在第二絕緣層和第二互連圖案之上形成第三絕緣層；在半導(dǎo)體層的底表面之上形成第三互連圖案和下互連圖案；在下互連圖案之上形成電容器；在半導(dǎo)體層的底表面之上形成第四絕緣層，以暴露電容器的上電極圖案；形成覆蓋電容器的第五絕緣層；以及在第五絕緣層中形成焊盤(pán)。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求2015年12月16日提交的韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?0-2015-0180176的優(yōu)先權(quán)，其全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用合并于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)的各個(gè)實(shí)施例涉及一種制造轉(zhuǎn)換器的方法，更具體地，涉及制造開(kāi)關(guān)電容式直流-直流(DC-DC)轉(zhuǎn)換器的方法。

背景技術(shù)

用在電源中的開(kāi)關(guān)電源轉(zhuǎn)換器可以包括開(kāi)關(guān)電感式轉(zhuǎn)換器(SIC)和開(kāi)關(guān)電容式轉(zhuǎn)換器(SCC)。SIC可以將能量?jī)?chǔ)存在它們的電感器中，并且將直流源(DC)從一個(gè)電壓電平轉(zhuǎn)換到另一個(gè)電壓電平。SCC可以將能量?jī)?chǔ)存在它們的電容器中，并且將直流源(DC)從一個(gè)電壓電平變換到另一個(gè)電壓電平。SIC可以呈現(xiàn)出寬的操作范圍和高效率。因此，SIC已經(jīng)廣泛用在大功率器件中。但是，將SIC用在緊湊系統(tǒng)中可能存在一些限制，因?yàn)镾IC的電感器占用了相對(duì)大的面積。相反，SCC可以適用于具有緊湊尺寸的小功率系統(tǒng)，因?yàn)榕cSIC的電感器相比，SCC的電容器占用了相對(duì)小的面積。最近，由于其緊湊的尺寸和較低的電磁干擾，SCC已經(jīng)廣泛用在移動(dòng)系統(tǒng)中。通常，當(dāng)開(kāi)關(guān)元件和電容器被集成在單個(gè)芯片中時(shí)，由于分配給電容器的有限面積，因此在增加電容器的電容值上可能存在限制。

發(fā)明內(nèi)容

各個(gè)實(shí)施例針對(duì)一種制造開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器的方法。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供一種制造開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器的方法。所述方法包括：提供具有頂表面和底表面的半導(dǎo)體層；在半導(dǎo)體層的頂表面上以及在半導(dǎo)體層的塊體區(qū)域中形成多個(gè)開(kāi)關(guān)元件；在半導(dǎo)體層的頂表面之上形成第一絕緣層和第一互連圖案；在第一絕緣層和第一互連圖案之上形成第二絕緣層；在第二絕緣層之上形成連接到第一互連圖案的第二互連圖案；在第二絕緣層和第二互連圖案之上形成第三絕緣層；在半導(dǎo)體層的底表面之上形成第三互連圖案和下互連圖案；在下互連圖案之上形成電容器；在半導(dǎo)體層的底表面之上形成第四絕緣層，以覆蓋第三互連圖案，并暴露電容器的上電極圖案；在第四絕緣層之上形成第五絕緣層，以覆蓋電容器；以及在第五絕緣層中形成多個(gè)焊盤(pán)。第三互連圖案和下互連圖案電連接到第一互連圖案。

附圖說(shuō)明

基于附圖和所附具體描述，本公開(kāi)的各個(gè)實(shí)施例將變得更清楚，在附圖中：

圖1是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器的電路圖；

圖2是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的形成開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器中采用的開(kāi)關(guān)元件的方法的剖視圖；

圖3是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的形成開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器中采用的第一互連圖案的方法的剖視圖；

圖4是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的形成開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器中采用的第二互連圖案的方法的剖視圖；

圖5是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的附接在制造開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器時(shí)所用的處理襯底的方法的剖視圖；

圖6是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的形成在開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器中采用的第一通孔至第三通孔的方法的剖視圖；

圖7是圖示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的形成在開(kāi)關(guān)電容式DC-DC轉(zhuǎn)換器中采用的第一通路至第三通路、第三互連圖案、以及下互連圖案的方法的剖視圖；