[發明專利]硅片盒檢測架

有效

• 申請號: 201610367919.3
• 申請日: 2016-05-30
• 公開（公告）號: CN105865402B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 林玉往;常清;吳寶佳
• 申請（專利權）人: 江蘇有則科技集團有限公司
• 主分類號: G01B21/32
• 分類號: G01B21/32;G01B5/00
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所32225
• 代理人: 孫彬

1.一種硅片盒檢測架，其特征在于，包括：

滑動支架(4)，滑動支架(4)上連接有硅片模板(7)，并帶動硅片模板(7)上下移動；

導向柱(5)，導向柱(5)插在滑動支架(4)上，并對滑動支架(4)的運動導向；

用于連接待檢測硅片盒(10)的定位板(6)，定位板(6)固定在導向柱(5)的末端，且定位板(6)上設有與硅片模板(7)位置相對應并用于通過硅片模板(7)的通孔(6-1)，滑動支架(4)沿導向柱(5)滑動以使硅片模板(7)穿過上述通孔(6-1)并插入待檢測硅片盒(10)。

2.根據權利要求1所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述硅片模板(7)的頂部連接有彈簧(9)，所述滑動支架(4)上設有彈簧接口(8)，硅片模板(7)通過所述彈簧(9)安裝在所述滑動支架(4)的彈簧接口(8)上。

3.根據權利要求2所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述的硅片模板(7)的頂部通過一夾片塊與所述彈簧(9)連接，夾片塊具有與硅片模板(7)相配合的開槽，硅片模板(7)固定在上述開槽內，夾片塊的頂部與彈簧(9)固定連接。

4.根據權利要求3所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述的導向柱(5)設有兩個，所述滑動支架(4)的兩端開有滑動通孔，導向柱(5)穿過上述滑動通孔，以便滑動支架(4)沿導向柱(5)上下移動。

5.根據權利要求4所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述硅片盒檢測架還包括用于驅動滑動支架(4)上下移動的動力機構。

6.根據權利要求5所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述滑動支架(4)的上部設有把手(3)。

7.根據權利要求6所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述的導向柱(5)的頂端安裝有限位板(2)，限位板(2)上設有鎖緊銷(1)。

8.根據權利要求1至7任一項所述的硅片盒檢測架，其特征在于：所述定位板(6)與待檢測硅片盒(10)連接處設有用于與待檢測硅片盒(10)上的定位孔相配合的定位塊(6-2)。