[發明專利]一種利用MOCVD設備對石墨托盤進行腐蝕清洗的方法有效
| 申請號： | 201610362921.1 | 申請日： | 2016-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN105834171B | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發明（設計）人： | 張雨;于軍;吳德華;張新;徐現剛 | 申請（專利權）人： | 山東華光光電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;C23C16/458;C30B25/12 |
| 代理公司： | 濟南日新專利代理事務所 37224 | 代理人： | 王書剛 |
| 地址： | 250101 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 mocvd 設備 石墨 托盤 進行 腐蝕 清洗 方法 | ||
【說明書】：
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