[發(fā)明專利]一種利用MOCVD設(shè)備對(duì)石墨托盤進(jìn)行腐蝕清洗的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610362921.1 | 申請(qǐng)日： | 2016-05-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105834171B | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張雨;于軍;吳德華;張新;徐現(xiàn)剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 山東華光光電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B7/00 | 分類號(hào)： | B08B7/00;C23C16/458;C30B25/12 |
| 代理公司： | 濟(jì)南日新專利代理事務(wù)所 37224 | 代理人： | 王書剛 |
| 地址： | 250101 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 mocvd 設(shè)備 石墨 托盤 進(jìn)行 腐蝕 清洗 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備、驗(yàn)證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
- 驅(qū)動(dòng)設(shè)備、定影設(shè)備和成像設(shè)備
- 發(fā)送設(shè)備、中繼設(shè)備和接收設(shè)備
- 定點(diǎn)設(shè)備、接口設(shè)備和顯示設(shè)備
- 傳輸設(shè)備、DP源設(shè)備、接收設(shè)備以及DP接受設(shè)備
- 設(shè)備綁定方法、設(shè)備、終端設(shè)備以及網(wǎng)絡(luò)側(cè)設(shè)備
- 設(shè)備、主設(shè)備及從設(shè)備
- 設(shè)備向設(shè)備轉(zhuǎn)發(fā)
