[發明專利]大尺寸掩膜板框架的制作方法在審
| 申請號： | 201610351599.2 | 申請日： | 2016-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN105951041A | 公開（公告）日： | 2016-09-21 |
| 發明（設計）人： | 唐軍 | 申請（專利權）人： | 唐軍 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228 | 代理人： | 鄭學偉;葉利軍 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市坪山新區坪*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 尺寸 掩膜板 框架 制作方法 | ||
【說明書】：
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