[發(fā)明專利]三氯氫硅合成爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610326284.2
• 申請日: 2016-05-17
• 公開（公告）號: CN106006647B
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發(fā)明（設計）人: 鮑明銳;蔡俊雄;郭慶元;劉毅;王蘭華
• 申請（專利權）人: 山東瑞川硅業(yè)有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231
• 代理人: 陳書華

1.一種三氯氫硅合成爐，包括中間殼體，所述中間殼體的內部設置有換熱管，所述中間殼體的上部設置有上殼體，下部設置有梯形殼體，所述梯形殼體的下部設置有下殼體，其特征在于，所述下殼體與梯形殼體的連接處設置有氣體分布板，所述氣體分布板上均勻設置有旋轉噴管和圓柱噴管，所述旋轉噴管與圓柱噴管交叉設置，所述氣體分布板上設置有用于容納旋轉噴管和圓柱噴管的容納孔，所述旋轉噴管的外側面上設置有噴孔，所述圓柱噴管側壁上設置有斜噴孔，所述斜噴孔與水平面的夾角為α，所述α為45°~60°，所述下殼體的側壁上設置有進氣管，所述中間殼體的側壁上設置有硅粉進管，所述硅粉進管上設置有硅粉噴射器，所述梯形殼體與下殼體之間通過螺栓固定連接，所述中間殼體與上殼體之間通過螺栓固定連接，所述中間殼體與梯形殼體之間通過螺栓固定連接。