[發(fā)明專利]等離子體發(fā)生裝置及基板處理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610318718.4 | 申請(qǐng)日： | 2012-03-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106024568B | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張鴻永;徐相勳;李潤(rùn)星 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 周星工程股份有限公司;韓國(guó)科學(xué)技術(shù)院 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/32 | 分類號(hào)： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002 | 代理人： | 李艷華 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子體 發(fā)生 裝置 處理 | ||
【說明書】：
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