[發明專利]一種諧振增強型熱釋電紅外探測器有效

申請號：	201610290352.4	申請日：	2016-05-05
公開（公告）號：	CN105810773B	公開（公告）日：	2017-08-25
發明（設計）人：	梁志清;王濤;馬振東;伍瀏權;劉子驥	申請（專利權）人：	電子科技大學
主分類號：	H01L31/101	分類號：	H01L31/101;H01L31/0232;G01J5/20
代理公司：	成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232	代理人：	葛啟函
地址：	611731 四川省成***	國省代碼：	四川;51
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種諧振增強型熱釋電紅外探測器
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【權利要求書】：

1.一種諧振增強型熱釋電紅外探測器，其紅外傳感器單元中吸收層為復合層結構，其特征在于，由底層至頂層依次包括：底面設有金屬反射層(1)和頂面設有第一金屬吸收層(3)的鉭酸鋰晶片(2)，第一介質層(4)，第二金屬吸收層(5)，第二介質層(6)以及第三金屬層(7)；所述鉭酸鋰晶片(2)厚度為9～17微米，金屬吸收層(3、5、7)的材料為鎳鉻合金，其厚度范圍均為6～11納米，介質層(4、6)的厚度范圍均為3～6納米。

2.根據權利要求1所述的一種諧振增強型熱釋電紅外探測器，其特征在于，所述金屬反射層(1)為鎳鉻合金層，金屬反射層(1)的厚度范圍為180～220納米。

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