[發(fā)明專利]一種產生大氣壓均勻等離子體刷的裝置和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610283073.5
• 申請日: 2016-05-03
• 公開（公告）號: CN105792495B
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設計）人: 李雪辰;楚婧娣;張琦;張盼盼;賈鵬英
• 申請（專利權）人: 河北大學
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 石家莊國域專利商標事務所有限公司 13112
• 代理人: 蘇艷肅

1.一種產生大氣壓均勻等離子體刷的裝置，其特征是，包括有放電部分和供氣部分：

所述放電部分由介質板構件、放電電極對、增強電極對和交流電源構成；

所述介質板構件由兩塊平行設置的介質板構成，且兩塊所述介質板的左右邊緣之間密封；

所述放電電極對由相對設置于兩塊介質板之間且靠近介質板前端左右兩側的第一針電極和第二針電極構成，所述第一針電極由放電針芯及包裹于放電針芯外部的介質管構成，所述第二針電極與所述第一針電極結構相同；

所述增強電極對由左右橫向設置于所述介質板構件中部上下表面的第一裸露電極和第二裸露電極構成，且第一裸露電極和第二裸露電極的長度不小于介質板構件的寬度；

其中，所述第一針電極和所述第一裸露電極均與所述交流電源的高壓輸出端連接，所述第二針電極和所述第二裸露電極均與所述交流電源的接地端連接；所述介質板與所述介質管均采用絕緣材料，所述絕緣材料為玻璃、石英或聚四氟乙烯；所述放電針芯為導電液或金屬材料，所述第一裸露電極和第二裸露電極為金屬材料；

所述供氣部分連接于所述介質板構件后端端口處；

所述介質板所形成的腔體的厚度為100μm～8mm，寬度為20mm～65mm；所述第一裸露電極與所述第二裸露電極間的距離為0.3mm～20mm；所述放電電極對與所述增強電極對間的距離為20mm～150mm。

2.根據權利要求1所述的產生大氣壓均勻等離子體刷的裝置，其特征是，所述供氣部分由儲氣罐和連接在儲氣罐上的氣體管路構成，所述氣體管路的另一端連接于所述介質板構件后端端口處。

3.利用權利要求1所述裝置產生大氣壓均勻等離子體刷的方法，其特征是，包括以下步驟：

（1）啟動供氣部分，為介質板構件的腔體提供工作氣體；

（2）啟動交流電源，增加交流電源電壓，使增強電極對之間產生介質阻擋放電，然后繼續(xù)增加交流電源電壓，使放電電極對之間產生介質阻擋放電，然后在當前交流電源電壓的基礎上微調交流電源的電壓和輸出頻率，使介質板構件前端端口處產生穩(wěn)定的大氣壓均勻等離子體刷；

其中，在所述介質板構件的腔體前端端口處，所述工作氣體的流量在0.01L/min·mm²~20L/min·mm²之間。

4.根據權利要求3所述裝置產生大氣壓均勻等離子體刷的方法，其特征是，使放電電極對之間和增強電極對之間產生介質阻擋放電的交流電源的輸出頻率在50Hz~13.56MHz之間。