[發明專利]外延設備在審
| 申請號： | 201610278856.4 | 申請日： | 2016-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN107326433A | 公開（公告）日： | 2017-11-07 |
| 發明（設計）人： | 季文明;林志鑫;劉源;保羅·邦凡蒂 | 申請（專利權）人： | 上海新昇半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/08 | 分類號： | C30B25/08;C30B25/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金華 |
| 地址： | 201306 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 外延 設備 | ||
1.一種外延設備，包括反應腔體、位于所述反應腔體上部的蓋板以及位于所述反應腔體下部的托盤，其特征在于，所述反應腔體設置為空心結構，并設置有冷卻水進出口，在空心中通入有冷卻水。
2.如權利要求1所述外延設備，其特征在于，所述反應腔室外表面上鍍有金。
3.如權利要求1所述外延設備，其特征在于，還包括射頻加熱線圈，位于所述托盤上靠近所述反應腔室的一側。
4.如權利要求3所述外延設備，其特征在于，所述射頻加熱線圈中心為空心，并設置有冷卻水進出口，在所述空心中通入有冷卻水。
5.如權利要求4所述外延設備，其特征在于，在所述射頻加熱線圈下方安裝有調節高低的螺絲調節裝置。
6.如權利要求1所述的外延設備，其特征在于，一部分所述蓋板為透明材質，在所述蓋板上形成可視窗口，紅外測溫裝置的探頭能夠在所述可視窗口上自由移動，測量所述反應腔室內晶圓的溫度。
7.如權利要求6所述的外延設備，其特征在于，所述反應腔室上與所述可視窗口對應的地方是實心設置。
8.如權利要求6所述的外延設備，其特征在于，所述透明材質為石英，且所述可視窗口為長方形。
9.如權利要求8所述的外延設備，其特征在于，所述可視窗口在所述蓋板上水平設置。
10.如權利要求9所述的外延設備，其特征在于，所述可視窗口位于所述蓋板豎直方向上的中間位置，且在水平方向上貫穿所述蓋板。
11.如權利要求9所述的外延設備，其特征在于，所述可視窗口位于所述蓋板豎直方向上的中間位置，且位于所述蓋板的左半側或右半側。
12.如權利要求8所述的外延設備，其特征在于，所述可視窗口在所述蓋板上豎直設置。
13.如權利要求12所述的外延設備，其特征在于，所述可視窗口位于所述蓋板水平方向上的中間位置，且在豎直方向上貫穿所述蓋板。
14.如權利要求12所述的外延設備，其特征在于，所述可視窗口位于所述蓋板水平方向上的中間位置，且位于所述蓋板的上半側或下半側。
15.如權利要求6～14中任一項所述外延設備，其特征在于，所述可視窗口的寬度為1mm～70mm。
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