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[發明專利]用于微機械傳感器的振動感測元件有效

專利信息
申請號: 201610269617.2 申請日: 2016-04-27
公開(公告)號: CN106093470B 公開(公告)日: 2020-11-13
發明(設計)人: G·N·C·烏爾希里;B·P·赫措根拉特 申請(專利權)人: 羅伯特·博世有限公司
主分類號: G01P15/097 分類號: G01P15/097;B81B7/02;B81C1/00
代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002 代理人: 侯鳴慧
地址: 德國斯*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 微機 傳感器 振動 元件
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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